国产高清精品一区二区三区,午夜阳光精品一区二区三区,爽爽爽精品一区二区三区,99精品久久久久免费蜜桃,91精品久久久久99蜜桃,成人久久久精品乱码一区二区三区,亚洲精品久久久久福利,天天射天天舔天天干

客服熱線:
400-666-4000
[→] 立即咨詢
關閉 [x]
LPCVD 鍍膜機

LPCVD 鍍膜機

產品特點 1.成熱的高產能工藝、雙模溫度控制技術、薄膜硅保護技術:
2.具備多種鍍膜技術:多層復合膜,摻雜多晶硅技術;
3.專利快速降溫爐體:最新專利技術使爐體溫度快速降到所需溫度,降溫速率提升25%以上,明顯提升爐管內溫度均勻性;
4.快速自適應壓力閉環控制技術;
5.架構完整,性能突出的MES/CCRM系統;
6.一體化工控機+模塊化工藝控制軟件;
7.全面的停電安全處理和法蘭水異常保護。

產品應用

適用于半導體和光伏領域,針對于光伏領域TOPCon工藝電池,LPCVD設備可一站式完成隧穿氧化層/Poly層的制備。熱氧和淀積Poly層兩個工藝合二為一能夠大幅度提高產能,同時兼容i/d -Poly生長工藝。

產品參數

    項目

 技術指標

成膜種類

SiOx, i/d-Poly-Si

裝片尺寸

垂直裝片方式:2880片/批(182mm),2200片/批(210mm)

膜厚均勻性

Si0x均勻性:厚度1-3nm可調,精度0.1nm,用拋光片測試SiOx厚度;
  Poly均勻性:厚度50-200nm可調,精度1nm,用拋光片測試Poly厚度,片內:≤4%,;片間≤4%;批間≤3%(>100nm時)

UP-TIME

≥95%

                             工作溫度范圍                              

400-750

溫度控制

6點控溫,內外雙模控制

                                   升溫方式                                 

自動斜率升溫及快速恒溫功能

降溫方式

最新專利技術,6溫區分段控制主動降溫爐體

                     恒溫區精度及長度                         

±1℃/2800mm(550-700℃)

單點溫度穩定度

1±℃/6H

升溫時間

RT→750℃≤45min

降溫速率

≥5℃/min

                                   溫度控制                                     

雙模精確控制

 系統極限真空度

<3Pa

    系統漏氣率      

停泵關閥后壓力升率<2Pa/min

壓力控制方式

快速調整全自動閉環

                         工藝控制式                       

工藝過程全自動控制,多重安全連鎖報警

人機交互界面

LCD顯示、觸摸操作、工藝編輯、在線監控、權限管理、班組管理、組網功能

MES/CCRM

具有


[圖標] 聯系我們
服務熱線
服務熱線:
400-666-4000
在線溝通
在線溝通:
立即咨詢
查看更多聯系、反饋方式
[↑]
打樣申請/技術支持
[x]
*
*
*
咨詢產品
驗證碼
標有 * 的字段為必填,收到后我們將在2個工作日與您聯系
申請打樣
[x]
*
*
*
*
*
標有 * 的字段為必填
*
激光加工類型(多選)
*
材料類型(多選)
驗證碼
標有 * 的字段為必填,收到后我們將在2個工作日與您聯系
主站蜘蛛池模板: 护士扒下内裤让我爽一夜 | 天天爽天天爽天天爽 | 亲近乱子伦免费视频 | 久久久久亚洲AV成人无码电影 | 没有毛的小嫩P | 91无码人妻精品1区,2区,3区 | 精品久久久中文字幕人妻 | 国产精品欧美一区二区三区不卡 | 日韩制服国产精品一区 | 久久精品国产亚洲av麻豆网站 | 国产无套内射久久久国产 | 精品无码人妻一区二区三区 | 天天夜碰日日摸日日澡性色AV | 国产成人精品123区免费视频 | 亚洲精品宾馆在线精品酒店 | 欧美人与动性xxxxx杂性 | 亚洲国产成人无码AV在线 | 亚洲精品无码国模 | 欧美乱人伦人妻中文字幕 | 人妻少妇乱子伦精品 | 欧美BBBBBBSBBBBBB | 精品久久久久久无码专区 | 97无码人妻福利免费公开在线视频 | 欧美日韩无套内射另类 | 国产肥白大熟妇BBBB视频 | JULIA无码中文字幕在线视频 | 亚洲男人天堂 | 人妻人人澡人人添人人爽人人玩 | 绝对真实偷窥女子会所私密av | 亚洲av日韩aⅴ无码色老头 | 男生自慰出精Gay2023 | A片无码AV看免费大片在线 | 免费看美女被靠到爽的视频 | AV天堂午夜精品一区 | 国产欧美日韩综合精品二区 | 内射中出无码护士在线 | 伊人久久大香线蕉综合网站 | 无人高清视频免费观看在线 | wwwxxx国产 | 把老师下面日出水视频 | chinese国产avvideoxxxx实拍 |